氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的? 氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、、真空系統(tǒng)、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的, 我們以磁偏轉(zhuǎn)型的氦質(zhì)譜檢漏儀為例進(jìn)行說明。 在質(zhì)譜室的離子源N內(nèi)，氣體被電離成離子。在電場(chǎng)作用下離子聚焦成東，并以-定的速度經(jīng)由縫隙S1進(jìn)入磁分析器，在均勻磁場(chǎng)的作用下，具有-定速度的離子束，將按圓形軌跡運(yùn)動(dòng)。調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束M z恰能通過縫隙S2到達(dá)收集極K而形成離子流。利用弱電流量測(cè)設(shè)備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束則以不同的偏轉(zhuǎn)半徑而被分開。
真空檢漏 向各個(gè)加熱電極、爐體水套等通水腔體內(nèi)噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對(duì)的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進(jìn)行包裹罩封,然后向罩中噴入氮?dú)?，觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點(diǎn)。 極限壓力不合格，升壓率合格 這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機(jī)械泵部分的各個(gè)連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。
氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對(duì)各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏方法 以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級(jí)較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種。對(duì)檢漏方法的要求：能定位、定量，即不經(jīng)能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染。
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