檢漏技術在真空領域占有非常重要的地位，它關系到真空設備的各項真空指標，如何快速地找到漏點關系到企業(yè)的生產(chǎn)效率與經(jīng)營成本。氦質譜檢漏儀是第二次期間快速發(fā)展起來的一種高精度檢漏儀，其靈. 敏度高達10-15pa:m3/s。當今常見的氦質譜檢漏儀靈敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦質譜檢測技術以其靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣以及可以量化漏點的漏率等特點，在航空、航天、汽車和電力行業(yè)得到了廣泛的應用，與其他諸多傳統(tǒng)檢漏方法相比，氦質譜檢漏具有的技術優(yōu)越性。采用氦質譜檢漏技術，可以實現(xiàn)飛機機翼整體油箱滲漏點的快速定位檢測與修補，保證機翼 翼盒的高質量、率裝配。
真空檢漏的具體方法 檢漏步驟為: 1.用力按壓氣袋從粗抽閥開始向爐體方向噴吹氦氣，第-遍針頭移動的速度可以快些，對設備的全部焊口、法蘭連接、動密封、熱電偶連接等處進行檢漏，在焊口不規(guī)整及法蘭連接縫隙不均勻處將噴吹移動速度放緩并進行細致檢查。 2.不按壓氣袋，用針頭緩慢地對位置進行檢查，漏孔會吸入針頭中存有的少氦氣，觀測檢漏儀屏幕漏率值噴吹過程中的變化，找到漏率大且上升快的點即是漏點。
檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度，正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時，在漏點處噴射氦氣5～10s后，檢漏儀就發(fā)生響應，對于如此龐大的真空系統(tǒng)，其反應是相當?shù)撵`敏。用于電廠檢漏的氦質譜檢漏儀。關鍵部件均為進口，性能。不僅靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。
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