真空檢漏的具體方法 為了方便說(shuō)明真空檢漏方法,我們以真空爐為例進(jìn)行真空檢漏。真空爐主要由機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、前級(jí)管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產(chǎn)中為常見(jiàn)問(wèn)題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見(jiàn)的是升壓率合格但極限壓力不合格。 (1)極限壓力合格,升壓率不合格 極限壓力合格說(shuō)明設(shè)備沒(méi)有明顯漏點(diǎn)，且真空系統(tǒng)的抽氣性能正常。升壓率不合格，主要原因是從粗抽閥到爐體有-些較小的漏點(diǎn)，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之間。
對(duì)于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點(diǎn)進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過(guò)規(guī)定值即為有漏。對(duì)于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開(kāi)始由近至遠(yuǎn)進(jìn)行。
檢漏時(shí)噴在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍，該時(shí)間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間，即為兩次噴氦的較小間隔時(shí)間，當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時(shí)間也越長(zhǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；檢測(cè)的數(shù)據(jù)；自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來(lái)源。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用制冷行業(yè)：冰箱、空調(diào)、汽車(chē)用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機(jī)、低溫儲(chǔ)槽。
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