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檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測泄漏的自動(dòng)化設(shè)備，它可以通過多種方式來檢查液體或氣體的泄露。該系統(tǒng)的部分是一個(gè)傳感器模塊和一個(gè)控制單元，它們協(xié)同工作以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的測量和數(shù)據(jù)處理。
傳感器的設(shè)計(jì)可以針對不同類型的氣體進(jìn)行優(yōu)化調(diào)整，如選擇適當(dāng)?shù)母袘?yīng)器、調(diào)節(jié)響應(yīng)時(shí)間等參數(shù)以滿足特定應(yīng)用的需求。此外，控制系統(tǒng)還具有自我保護(hù)功能以確保操作員的安全性以及設(shè)備的長期穩(wěn)定性與可靠性。例如：當(dāng)發(fā)生氣體外泄時(shí)，控制器會(huì)立即啟動(dòng)警報(bào)裝置并關(guān)閉閥門；同時(shí)通過數(shù)據(jù)記錄儀保存有關(guān)報(bào)警的數(shù)據(jù)以便日后查詢和分析。

氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，其原理基于帶電粒子在磁場中的偏轉(zhuǎn)以及氣體分子對電磁輻射的吸收。該系統(tǒng)的部件是氦離子源和質(zhì)譜儀。
當(dāng)需要檢查的對象內(nèi)部存在微小壓力時(shí)，可以使用液態(tài)惰性氣體作為示蹤劑（例如：氦氣），通過管道進(jìn)入待測對象內(nèi)并被稀釋到很低濃度后從密封區(qū)域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此時(shí)可以通過測量總釋放量Ra來判斷泄露是否發(fā)生，若Ra>Rb+ΔR且ΔR足夠小時(shí)則認(rèn)為發(fā)生了泄露[1]。

真空箱氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測和測量真空容器內(nèi)氣體是否含有氦氣的設(shè)備。它通過將氦氣充入真空容器內(nèi)，然后抽出容器內(nèi)的空氣，檢測其是否含有氦氣來實(shí)現(xiàn)檢漏。系統(tǒng)通常由氦氣發(fā)生器、氦氣檢測器和真空系統(tǒng)等組成。氦氣發(fā)生器可以產(chǎn)生高純度的氦氣，氦氣檢測器用于檢測容器內(nèi)的氦氣濃度，真空系統(tǒng)用于保持真空環(huán)境。真空箱氦檢漏系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、太陽能、電子、真空鍍膜等行業(yè)，可以用于檢測和測量真空容器內(nèi)的氣體是否含有氦氣，確保產(chǎn)品質(zhì)量和安全生產(chǎn)。