氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實性。氦質(zhì)譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術(shù)中較成熟的設(shè)備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護，氦質(zhì)譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。
氦質(zhì)譜檢漏儀用于對容器或器件的密封性進行檢測，對被檢件泄漏點進行定性、定量和定位的檢測。儀器利用內(nèi)置的真空系統(tǒng)，將被檢氣體抽入到儀器內(nèi)部，然后將該混合氣體離化，并將離子加速送入磁場當(dāng)中，利用帶電離子在磁場中的偏轉(zhuǎn)效應(yīng)，使氦離子與其它離子分離，通過對此氦離子信號的接收、放大和顯示，從而反映出被測器件的密封性。
對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。對于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠進行。
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