氦質譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應性以及無破壞性，使其廣泛應用。氦質譜檢漏設備應在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等。若設備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結果的真實性。氦質譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術中較成熟的設備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護，氦質譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。
氦質譜檢漏儀的檢漏率應高于設備所允許漏率1-2個數(shù)量級。首先將設備穩(wěn)固的置于明亮、透風良好的場所，連接好檢漏用管路及壓力表，應將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。于氦檢是通過氦穿過漏孔來檢漏的，所以焊縫表面若存有油污、 焊渣以及設備內(nèi)部的積水、污垢等都會使泄漏孔暫時阻塞而影響檢測結果，因此，測試前必須設備內(nèi)部清理干凈及焊縫表面并用熱風裝置將設備內(nèi)部干燥?？上扔玫獨饣蚱渌栊詺怏w將設備壓力提高， 然后用純氦氣或氦氣混合氣把測試設備的內(nèi)壓增加至測試壓力且 應使設備內(nèi)部至少含有10%-20%的氦氣含量。
為了避免事故的發(fā)生，化工廠商在投建廠房時就應該對化學管道和設備做氣密檢漏并且后期生產(chǎn)中也需要定期檢漏。氦質譜檢漏設備檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進質譜檢漏儀，應立即移去吸，防止因儀器長時間清除不掉氦影響而延誤測試。對檢漏方法的要求：檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；反應時間短，可以提高工作效率；根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟實用。
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