檢漏技術(shù)在真空領(lǐng)域占有非常重要的地位，它關(guān)系到真空設(shè)備的各項真空指標(biāo)，如何快速地找到漏點關(guān)系到企業(yè)的生產(chǎn)效率與經(jīng)營成本。氦質(zhì)譜檢漏儀是第二次期間快速發(fā)展起來的一種高精度檢漏儀，其靈. 敏度高達10-15pa:m3/s。當(dāng)今常見的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦質(zhì)譜檢測技術(shù)以其靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣以及可以量化漏點的漏率等特點，在航空、航天、汽車和電力行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用，與其他諸多傳統(tǒng)檢漏方法相比，氦質(zhì)譜檢漏具有的技術(shù)優(yōu)越性。采用氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)，可以實現(xiàn)飛機機翼整體油箱滲漏點的快速定位檢測與修補，保證機翼 翼盒的高質(zhì)量、率裝配。
檢漏步驟為: 極限壓力、升壓率都不合格 這種情況通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的較大漏點，檢漏步驟為: . 1.用內(nèi)徑0.5mm左右的針頭從機械泵到爐體快速的噴吹一遍，會很快發(fā)現(xiàn)漏點，這時發(fā)現(xiàn)的漏點都較大，然后應(yīng)立即焊接處理或用封泥封堵，- 旦封堵成功，真空度和檢漏儀靈敏度會明顯提高。 2.第二遍檢漏，進行第二遍檢漏時速度要較遍慢些， 重點檢查表面不規(guī)整的焊口、法蘭接縫處、動密封處、熱電偶密封、電極、線圈、水套、各種膠圈處等部位。具體步驟與極限壓力不合格、升壓率合格的檢漏方法相同。
氦質(zhì)譜檢漏儀使用氦氣作為示蹤氣體，氦是單原子稀有氣體分子，在空氣中的含量(5.2ppm), 無色、無味，常溫下為氣態(tài)的惰性氣體，極不活潑，既不能燃燒，也不助燃，化學(xué)性能穩(wěn)定。在檢測器件的密封性能時，遇到器件大漏時，有大量的氦氣進入氦質(zhì)譜檢漏儀，短時間內(nèi)儀器內(nèi)部氦氣難以清除，造成儀器的本底升高，儀器的檢測靈敏度降低，影響儀器的再次檢測精度。
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