氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響；檢測的數(shù)據(jù)；自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氦氣檢漏儀關(guān)鍵零部件集優(yōu)采購，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性；真空箱內(nèi)氦氣本底抑零，保證了檢漏的準確性、；
氦質(zhì)譜檢漏儀使用氦氣作為示蹤氣體，氦是單原子稀有氣體分子，在空氣中的含量(5.2ppm), 無色、無味，常溫下為氣態(tài)的惰性氣體，極不活潑，既不能燃燒，也不助燃，化學性能穩(wěn)定。在檢測器件的密封性能時，遇到器件大漏時，有大量的氦氣進入氦質(zhì)譜檢漏儀，短時間內(nèi)儀器內(nèi)部氦氣難以清除，造成儀器的本底升高，儀器的檢測靈敏度降低，影響儀器的再次檢測精度。
為了避免事故的發(fā)生，化工廠商在投建廠房時就應(yīng)該對化學管道和設(shè)備做氣密檢漏并且后期生產(chǎn)中也需要定期檢漏。對檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；使用氦氣噴在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當氦噴到漏孔上時，氦氣會立刻被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴散到質(zhì)譜室內(nèi)，氦質(zhì)譜檢漏儀感應(yīng)到氦就會立刻有響應(yīng)。從而達到了檢漏的結(jié)果。
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