漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開(kāi)始由近至遠(yuǎn)進(jìn)行。對(duì)檢漏方法的要求：能定位、定量，即不經(jīng)能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；能無(wú)損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。
真空檢漏 向各個(gè)加熱電極、爐體水套等通水腔體內(nèi)噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對(duì)的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進(jìn)行包裹罩封,然后向罩中噴入氮?dú)?，觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說(shuō)明被包裹的位置存在漏點(diǎn)。 極限壓力不合格，升壓率合格 這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機(jī)械泵部分的各個(gè)連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。
氦質(zhì)譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專(zhuān)門(mén)用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術(shù)中較成熟的設(shè)備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護(hù)，氦質(zhì)譜檢漏儀成為化工管道檢漏的的選擇。氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上， 由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。對(duì)檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無(wú)毒，不腐蝕零件；
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