氦質(zhì)譜檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法，負(fù)壓法和正壓法，一般化工管道采用的是負(fù)壓法。負(fù)壓法就是常說的抽真空，這是氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學(xué)與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機(jī)、真空爐等真空系統(tǒng)；對于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。
外漏主要是滲漏，主要部位為板片和板片之間的密封處、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片與壓緊板內(nèi)側(cè)密封處。 串液主要為壓力高的一側(cè)的介質(zhì)串入壓力較低- -側(cè)的介質(zhì)中，系統(tǒng)會(huì)出現(xiàn)壓力和溫度的異常。如果介質(zhì)具有腐蝕性，還可能導(dǎo)致回路中其他設(shè)備的腐蝕。串液通常發(fā)生在導(dǎo)流區(qū)域或者二道密封區(qū)域。 為了避免外漏的發(fā)生，需要對板片和板片的密封處、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片與壓緊板內(nèi)側(cè)密封處進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏。
檢漏儀對示漏氣體的要求：在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準(zhǔn)確性。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦氣檢漏儀可對使用過程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進(jìn)行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）。
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