對檢漏方法的要求:穩(wěn)定性好,即可以在足夠長時間內靈敏度;所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;氦質譜檢漏主要領域:空調制冷工業(yè)——壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等;真空科學與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機、真空爐等真空系統(tǒng);對于容積較小的部件,如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等,采用氦罩法被檢工件抽空,檢漏儀調到漏率(10-11Pa.m3/s),然后對氦罩沖氦。
氦質譜檢漏儀是如何工作的? 氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、、真空系統(tǒng)、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質譜檢漏儀是如何工作的, 我們以磁偏轉型的氦質譜檢漏儀為例進行說明。 在質譜室的離子源N內,氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成東,并以-定的速度經由縫隙S1進入磁分析器,在均勻磁場的作用下,具有-定速度的離子束,將按圓形軌跡運動。調節(jié)加速電壓U使氦離子束M z恰能通過縫隙S2到達收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設備,使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束則以不同的偏轉半徑而被分開。
對檢漏方法的要求:能定位、定量,即不經能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質量要求;能無損檢漏,不使被檢設備受到損傷和污染;氦質譜檢漏主要領域:空調制冷工業(yè)——壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等;真空科學與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機、真空爐等真空系統(tǒng);檢漏的方式是:鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質譜檢漏儀,用真空泵組把管道抽真空,達到一定真空度。