檢漏技術(shù)在真空領(lǐng)域占有非常重要的地位，它關(guān)系到真空設(shè)備的各項(xiàng)真空指標(biāo)，如何快速地找到漏點(diǎn)關(guān)系到企業(yè)的生產(chǎn)效率與經(jīng)營成本。氦質(zhì)譜檢漏儀是第二次期間快速發(fā)展起來的一種高精度檢漏儀，其靈. 敏度高達(dá)10-15pa:m3/s。當(dāng)今常見的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦質(zhì)譜檢測技術(shù)以其靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣以及可以量化漏點(diǎn)的漏率等特點(diǎn)，在航空、航天、汽車和電力行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用，與其他諸多傳統(tǒng)檢漏方法相比，氦質(zhì)譜檢漏具有的技術(shù)優(yōu)越性。采用氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)飛機(jī)機(jī)翼整體油箱滲漏點(diǎn)的快速定位檢測與修補(bǔ)，保證機(jī)翼 翼盒的高質(zhì)量、率裝配。
氦質(zhì)譜檢漏儀優(yōu)勢特點(diǎn)：1.采用便攜式設(shè)計(jì)，2.設(shè)備外型美觀小巧，3.采用液晶觸摸屏設(shè)計(jì)，4.有通訊接口，5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時(shí)監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度。
對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點(diǎn)進(jìn)行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。對于體積較大的工件，采用背壓發(fā)，按照工件體積的大小試用不同大小的檢漏罐。通常把被檢工件沖入0.6MPa的純氦或氦（含量30%）-氮混合氣體，然后放入檢漏罐中。漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠(yuǎn)進(jìn)行。
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