氦氣檢漏儀可對使用過程中產生的濃度不合格氦氣進行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；氦質譜檢漏儀優(yōu)勢特點：1.采用便攜式設計，2.設備外型美觀小巧，3.采用液晶觸摸屏設計，4.有通訊接口，5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。
氦質譜檢漏儀主要技術指標：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦質譜檢漏儀的特點：檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內；檢測的介質比較常用，僅需壓縮空氣即可；質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進入室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。
氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇：無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害;質量輕，惰性氣體，穿透能力強，能穿透微小細縫;化學性質穩(wěn)定，不會引起化學反應;氦質譜檢漏儀優(yōu)勢特點：1.采用便攜式設計，2.設備外型美觀小巧，3.采用液晶觸摸屏設計，4.有通訊接口，5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。
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