在氦質(zhì)譜檢漏儀的進氣法蘭處接上橡皮管,橡皮管的前端有直徑很小的毛細管,使毛細管在充了氦的被檢容器外壁的焊縫和密封接頭等處移動,如果該容器有漏隙,經(jīng)漏隙滲出的氦會被毛細管吸入,檢漏儀就會響應(yīng)。同樣在裝備中也離不開檢漏,彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、彈頭、特殊部件的密封性都要用到氦質(zhì)譜檢漏。檢漏儀檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。
氦質(zhì)譜檢漏儀其產(chǎn)品結(jié)構(gòu)和操作模式等都有著顯著的優(yōu)勢，并且還指出檢漏儀近些年來已經(jīng)逐步精簡體積實現(xiàn)了更加便攜化的操作設(shè)計。檢漏儀檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。在真空設(shè)備漏情況的檢查之中也有專業(yè)的儀器保證了檢查效果的穩(wěn)定性，而且這種氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)中的精準(zhǔn)的線路檢測能力得到了更好的提升，
氦質(zhì)譜檢漏方法比較多,根據(jù)被檢件的測量目的可以分為兩種類型,一種是漏點型,另一種是漏率型;在實際檢驗過程中要根據(jù)檢驗的目的選用合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運用各種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數(shù)量級,儀器響應(yīng)快,通過這種設(shè)備的運轉(zhuǎn)情況精準(zhǔn)的了解漏的概率和存在的情況，根據(jù)這種氦質(zhì)譜檢漏儀數(shù)據(jù)的把控能力，也能夠確保產(chǎn)品的質(zhì)量能夠得到更好的監(jiān)督；
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