蘇州氦檢漏儀器設(shè)備工作原理
1.檢漏儀內(nèi)部組成：氦質(zhì)譜檢漏儀主要由分子泵、質(zhì)譜室、組合閥體，機(jī)械泵以及控制電路板等組成。
檢漏儀的工作原理：氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理，用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。ZQJ-542檢漏儀采用180度磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜室，鎢制燈絲發(fā)射出來(lái)的電子經(jīng)過(guò)加速進(jìn)入離化室，在離化室內(nèi)與殘余氣體分子和經(jīng)被檢件漏孔進(jìn)入離化室的氦氣互相碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，由于不同質(zhì)量數(shù)（m/e）的離子其偏轉(zhuǎn)半徑不同，這樣就將不同的離子分離開(kāi)了。由于磁場(chǎng)參數(shù)是固定的，只有調(diào)節(jié)加速壓力就可以改變氦離子的偏轉(zhuǎn)半徑，使氦離子正好通過(guò)隔離板上的窄縫打到放大器入口，這樣就使氦離子（m/e=4）與其他離子分開(kāi)了。氦離子流正比于容器中氦分壓。因此，對(duì)氦離子的測(cè)量可以用來(lái)確定被檢件的漏率。
2.氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散原理如圖所示。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵進(jìn)氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比）即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。
3.質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
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